光刻机掩膜版盒的智能存取装置
授权
摘要
本实用新型公开了光刻机掩膜版盒的智能存取装置，包括柜体，柜体分隔成上腔体、前腔体、后腔体和下腔体，前腔体内抽拉安装有收纳盒，后腔体内安装有过滤器，后腔体上设置有进气口，下腔体上设置有电控柜和抽气风机，抽气风机的进气口与后腔体联通，抽气风机的出气口与前腔体连通，前腔体与上腔体连通，上腔体上设置有排气口，前腔体内安装有顶推机构，顶推机构在前腔体内移动顶推任意一个收纳盒，柜体的前面板上设置有操作面板。该智能存取装置可以更好的储存掩膜版盒，不但可以减少灰尘的附着，而且方便准确的分类储存和取出，避免出错。
基本信息
专利标题 ：
光刻机掩膜版盒的智能存取装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123120948.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216647080U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
牛立久张雪奎刘增增周一雷徐金鑫
申请人 ：
山东华楷微电子装备有限公司
申请人地址 ：
山东省日照市日照高新区高新六路17号日照智慧微电产业园（高新六路与艳阳路交汇处）
代理机构 ：
苏州金项专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金星
优先权 ：
CN202123120948.5
主分类号 ：
G03F1/66
IPC分类号 ：
G03F1/66 G09F3/02 B65D25/52
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/66
专门适用于掩膜，空白掩膜或薄膜的容器；其制备
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
