一种光刻机曝光使用夹具
授权
摘要
本实用新型提供一种光刻机曝光使用夹具，包括工作台，所述工作台上放置有呈直角三棱柱且上表面用于放置圆晶片的载台，所述载台上表面为斜面，所述载台上表面一端固定连接有呈“L”型的凸块，所述凸块与载台之间形成用于固定卡住圆晶片的定位凹槽，所述载台下方中部具有真空圆槽，所述工作台内固定连接有气缸，所述气缸输出轴上同轴固定连接有与真空圆槽相配合且位于真空圆槽正下方的卡盘。本实用新型结构简单，设计合理，使用方便，提高加工效率，具有实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机曝光使用夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920897678.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-14
授权号 ：
CN210005855U
授权日 ：
2020-01-31
发明人 ：
欧祥勇
申请人 ：
福建中科光芯光电科技有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市石狮市高新区创新创业中心11#厂房1层
代理机构 ：
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 ：
黄诗锦
优先权 ：
CN201920897678.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-01-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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