本实用新型公开了适于接触式光刻机的分区域曝光装置，包括底座，所述底座的下表面固定连接有固定盘，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的上表面开设有凹槽，所述凹槽的内底壁固定连接有液压伸缩柱，所述液压伸缩柱的上表面固定连接有托板，所述托板的上表面固定连接有工作台，所述固定柱的侧面固定连接有固定箱，所述固定箱的两侧开设有进料口。该适于接触式光刻机的分区域曝光装置，通过设置底座、固定盘、固定柱、凹槽、液压伸缩柱、托板和工作台，便于把基片放在工作台上，并启动液压伸缩柱，使其伸缩带动托板上升，托板上升带动工作台上升，工作台上升带动基片与固定箱内壁的横俺模搭接，从而达到便于对基片进行曝光的效果。