一种具有加热媒介的薄膜沉积设备
授权
摘要
本实用新型公开的属于薄膜沉积设备技术领域，具体为一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，其包括薄膜沉积设备、加热板、温度传感器和气体浓度传感器，所述薄膜沉积设备包括进气管、气体喷淋头和基座，所述进气管固定安装在薄膜沉积设备内腔的顶部，所述气体喷淋头固定安装在进气管的底部，所述基座固定安装在薄膜沉积设备内腔的底部，所述加热板固定安装在基座内腔的顶部，本申请文件中，能够通过本文件，便于对基座的温度进行控制，使薄膜成型的效果更好，更加的均匀，通过气体浓度检测，便于了解膜沉积设备内的气体浓度，方便操作记录，提高了装置的实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种具有加热媒介的薄膜沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022254382.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
CN213266680U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
杨世强蒋焕明李海兵
申请人 ：
广东顺德悦田薄膜有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市顺德区杏坛镇麦村村委会第二工业区入村大道东三路6号A3
代理机构 ：
江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
叶晶
优先权 ：
CN202022254382.4
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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