混搅晶圆研磨液机台改进结构
授权
摘要
本实用新型公开一种混搅晶圆研磨液机台改进结构，从座架的顶围环壁锁设数个螺丝穿抵夹混搅筒加强固定，且将贴固在混搅筒壁上之的竖架，改从座架旁临近搅拌筒地板面竖起，使混搅筒运转时与座架传运转震力通到机台的座架基底，下传震力降低荡晃动量，加上竖架与筒壁不直接相接，让传感器隔空近距感应筒内液位，不使混搅筒接触震损传感器，影响测量回控精度，此为本创作初步的目的。
基本信息
专利标题 ：
混搅晶圆研磨液机台改进结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022355579.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
CN214438112U
授权日 ：
2021-10-22
发明人 ：
史紫柔吴浚宇
申请人 ：
宸沅国际股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹科学园区新竹市展业一路9号5楼之1
代理机构 ：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
董京杜
优先权 ：
CN202022355579.7
主分类号 ：
B01F7/16
IPC分类号 ：
B01F7/16 B01F15/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F7/00
在固定容器内具有旋转搅拌装置的混合机；糅合机
B01F7/16
具有绕一个垂直轴旋转的搅拌器的
法律状态
2021-10-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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