一种单晶生长炉炉芯组的快速装填工具
授权
摘要

本实用新型涉及单晶炉装配装置技术领域,公开了一种单晶生长炉炉芯组的快速装填工具,包括圆形台阶底座、提拉杆和卡扣结构,圆形台阶底座上设有内螺纹通孔,所述提拉杆下端固定连接有外螺纹丝杆,圆形台阶底座上的内螺纹通孔与提拉杆下端的外螺纹丝杆的尺寸相配合,提拉杆从外螺纹丝杆一端依次套设有环形炉芯组固定片、弹簧、环形弹簧固定片和卡扣结构。本实用新型能够通过采用圆形台阶底座和固定连接有外螺纹丝杆的提拉杆相配合对定炉芯组初步定位,通过卡扣结构和环形炉芯组固定片、弹簧、环形弹簧固定片之间的配合压紧炉芯组,最后通过把手将炉芯组放置到加热器中。

基本信息
专利标题 :
一种单晶生长炉炉芯组的快速装填工具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022357231.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-21
授权号 :
CN214193508U
授权日 :
2021-09-14
发明人 :
王建武罗福敏李勇
申请人 :
威科赛乐微电子股份有限公司
申请人地址 :
重庆市万州区万州经开区高峰园B02
代理机构 :
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 :
张晨
优先权 :
CN202022357231.1
主分类号 :
C30B11/00
IPC分类号 :
C30B11/00  C30B29/42  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B11/00
正常凝固法或温度梯度凝固法的单晶生长,例如晶体生长坩埚下降法Bridgman-Stockbarger法
法律状态
2021-09-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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