改善吹风洁净度的光刻机系统

授权

摘要

本实用新型公开了改善吹风洁净度的光刻机系统，包括装置箱，所述装置箱的正面设置用控制机构，所述装置箱的内底壁设置有工作台，所述工作台的上方设置有光刻镜头，所述装置箱的左侧表面分别固定安装有支撑板、烘干箱和喷淋箱，所述支撑板的上表面分别固定安装有气泵和过滤箱，所述支撑柱远离喷淋箱的一端固定安装有储水箱。该改善吹风洁净度的光刻机系统，通过设置风机、喷淋箱、储水箱、喷淋头、烘干箱、气泵和过滤箱，在对光刻机工作台和光刻镜头进行吹风清理时，能够首先对气流进行喷淋除尘，之后再进行烘干去潮，最后经过活性炭颗粒进行进一步清洁过滤，从而提升了吹风清洁时气流的洁净度，避免了对光刻镜头造成腐蚀或者磨损。

基本信息

专利标题：

改善吹风洁净度的光刻机系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022430076.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-28

授权号：

CN213780632U

授权日：

2021-07-23

发明人：

张俊杰

申请人：

上海图双精密装备有限公司

申请人地址：

上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧

代理机构：

上海汇齐专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

朱明福

优先权：

CN202022430076.1

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20