本实用新型涉及晶片生产技术领域，尤其涉及一种晶片烘干机，包括外壳以及与外壳相匹配的盖体，所述外壳内设置有内腔，所述内腔的侧壁上设置有多个吹风口，所述内腔的底板上设置有排风口，所述吹风口通过管道连接有吹风系统，所述烘干机还包括清洗系统，所述清洗系统包括供液管以及与供液管相连通的多个喷洒管，所述内腔内还固定安装有晶片放置装置，多个所述喷洒管固定安装于内腔的侧壁上，且位于晶片放置装置至盖体之间对应的位置。本实用新型的一种晶片烘干机，通过清洗系统和吹风系统的配合使用，能够在不转移晶片的情况下完成乙醇脱水和吹干步骤，进而减少了晶片被二次污染的几率。