一种光掩膜图形位置的检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光掩膜图形位置的检测装置，包括第一主体和第二主体，所述第二主体的底部固定连接有底座，所述底座的顶部固定连接有第一固定块，所述第一固定块的内部开设有通槽，所述通槽的另一端活动套接有丝杆，所述丝杆的外表面活动连接有滑块，所述丝杆的另一端活动连接有转动杆；通过设计的第一把手、转动杆、丝杆、滑块、第一活动杆和活动板，便于该装置在使用时，可以通过第一把手带动转动杆转动，然后转动杆通过丝杆、滑块、第一活动杆带动活动板运动，从而便于装置移动，且可以自由收纳滚轮，解决了装置移动不便和滚轮不便收纳的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种光掩膜图形位置的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022443351.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
CN212931364U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
校微娜
申请人 ：
上海禾本电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市徐汇区虹梅路2071号1幢3层305室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022443351.3
主分类号 ：
G01B21/00
IPC分类号 ：
G01B21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
