一种刻蚀机反应室
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摘要

本实用新型公开了一种刻蚀机反应室,包括方体,所述方体外壁一侧开设有凹槽,所述方体内部设有进液管,所述进液管内部贯穿有过滤板,所述过滤板一端贯穿于凹槽内部,所述过滤板与方体滑动连接,所述过滤板与进液管滑动连接,所述过滤板一端固定连接有滑套。本实用新型通过在主动轴外壁设置稳定板,稳定板的加入,使主动轴的稳定性增加,滑块的截面形状设置为圆形,使滑块和滑槽之间的摩擦阻力大大降低,滑槽的加入,使滑块的运动轨迹得到限制,支撑杆的加入,使活动板可以摆动运动,活动块的截面形状设置为半圆形,使齿条可以带动动力齿轮运动,连接杆和连接套的加入,使转杆可以带动滑套运动。

基本信息
专利标题 :
一种刻蚀机反应室
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022514669.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-03
授权号 :
CN214075259U
授权日 :
2021-08-31
发明人 :
吴峰唐建成
申请人 :
无锡芯汉电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市湖滨路655号325室
代理机构 :
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
聂启新
优先权 :
CN202022514669.6
主分类号 :
B01D29/03
IPC分类号 :
B01D29/03  B01D29/96  H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D29/00
不包括在组B01D24/00至B01D27/00中的过滤期间过滤元件不动的过滤器,例如压滤器或吸滤器;其过滤元件
B01D29/01
带有平的过滤元件
B01D29/03
自支撑的
法律状态
2021-08-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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