一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮
授权
摘要
本实用新型涉及清洗装置技术领域，公开了一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮，包括底板和用于固定PBN坩埚的固定件，所述底板上均匀开设有若干个圆形通孔，底板上固定连接有相互对称的两个箱板、两个功能板，箱板与功能板固定连接，箱板和功能板上均匀开设有若干个矩形通槽，功能板中部固定连接有定位板，定位板上开设有长通槽和若干个半圆槽，长通槽和半圆槽相通；固定件包括承重柱和固定柱，承重柱的两端均固定连接固定柱。解决了PBN坩埚在清洗过程中不能完全浸泡在清洗液体内、PBN坩埚的籽晶腔会随着水流移动撞击到花篮而损坏以及花篮太轻不能沉入设定的位置而导致自动清洗无法进行的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种用于PBN坩埚自动清洗的花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022520289.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-04
授权号 ：
CN215103689U
授权日 ：
2021-12-10
发明人 ：
肖雨
申请人 ：
威科赛乐微电子股份有限公司
申请人地址 ：
重庆市万州区万州经开区高峰园B02
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
张晨
优先权 ：
CN202022520289.3
主分类号 ：
C30B29/42
IPC分类号 ：
C30B29/42 C30B11/00 B08B3/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
C30B29/42
砷化镓
法律状态
2021-12-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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