用于基板支撑件的集成电极和接地平面
公开
摘要
在本文中描述的实施例涉及用于在处理腔室中进行射频(RF)接地的设备。在一个实施例中，加热器被设置在基板支撑件中。加热器被接地屏蔽组件包围。基板支撑件还包括设置在基板支撑件中的多区域电极。多区域电极包括设置在平面中的电极的一个或多个部分。多区域接地平面的一个或多个部分与电极的一个或多个部分一同地被插置。即，多区域接地平面和多区域电极与电极的一个或多个部分共平面，其中电极的一个或多个部分与多区域接地平面的一个或多个部分在基板支撑件的整个平面中交替。
基本信息
专利标题 ：
用于基板支撑件的集成电极和接地平面
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114467162A
申请号 ：
CN202080068073.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-09-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
V·D·帕科
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN202080068073.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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