用于支撑基板载体的设备、基板载体以及基板装载模块
授权
摘要
描述了一种用于支撑基板载体的设备、一种基板载体以及一种基板装载模块。所述设备包括载体锁定机构(140)，所述载体锁定机构被配置为在所述基板载体的一侧接合所述基板载体(210)，所述基板载体在所述设备处以竖直取向布置并且所述载体锁定机构包括主体(145)和接合所述载体的所述一侧的可移动的紧固装置(142)。
基本信息
专利标题 ：
用于支撑基板载体的设备、基板载体以及基板装载模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022887216.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-12-03
授权号 ：
CN216688306U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
莱内尔·欣特舒斯特
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202022887216.8
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C16/458 H01L21/687 H01L21/67
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
