一种卷对卷铜箔精密LDI曝光机
授权
摘要
本发明公开了一种卷对卷铜箔精密LDI曝光机，四组的快速定夹结构的初始速度均为8cm/s，后逐渐衰减为零并且依托其内部的机械拖臂运动，机械拖臂的左端连接有“7”型的扣架，扣架的凹陷端与基板接触吸合，机械拖臂的右端包括有压缩簧，在需要对基板进行转移时，在光线扫描器的基础下使扣架快速弹射至基板周围，在靠近后再减速进行吸附，减少在加工过程中机械运动转移的时间，提高机械转移效率，并且气吸配合小电球静电的吸附方式会使干膜基板在转移的时候更加的稳定。
基本信息
专利标题 ：
一种卷对卷铜箔精密LDI曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113419405A
申请号 ：
CN202110470798.6
公开（公告）日 ：
2021-09-21
申请日 ：
2021-04-28
授权号 ：
CN113419405B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
谢安孙东亚李月婵曹春燕卢向军杨亮
申请人 ：
厦门理工学院
申请人地址 ：
福建省厦门市集美区理工路600号
代理机构 ：
厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈远洋
优先权 ：
CN202110470798.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-10-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20210428
申请日 : 20210428
2021-09-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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