脱模装置及利用其的图案基板生产方法
公开
摘要
本发明涉及一种脱模装置。具体地，根据本发明的一实施例，可以提供一种脱模装置，包括：第一板，其能够支撑基板；第二板，其能够支撑模具并且在一侧具有规定的旋转轴；以及角度调整部，其能够使所述第二板相对于所述第一板倾斜预定角度，以从支撑于所述第一板的基板分离支撑于所述第二板的模具，所述角度调整部以相较于所述第二板的所述一侧使作为所述第二板的所述一侧的相反侧的另一侧从所述第一板间隔开的方式使所述第二板以所述旋转轴为中心旋转来使所述第二板倾斜。
基本信息
专利标题 ：
脱模装置及利用其的图案基板生产方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114563917A
申请号 ：
CN202110892188.5
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2021-08-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金泰完权相民朴惠贞金准基郑明教郑熙锡
申请人 ：
吉佳蓝科技股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
金鲜英
优先权 ：
CN202110892188.5
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 B82Y40/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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