带透明导电膜的基板及其图案形成方法

专利权的终止

摘要

本发明提供生产性高且适合于激光图案形成的带透明导电膜的基板。作为在玻璃基板上形成以氧化铟为主要成分的透明导电膜而成的带透明导电膜的基板、特征在于该透明导电膜表面的平均畴直径在150nm以下的带透明导电膜的基板，以及前述透明导电膜为非晶质的前述带透明导电膜的基板。前述透明导电膜通过溅射法以200℃以下的成膜时的基板温度形成的前述带透明导电膜的基板。

基本信息

专利标题：

带透明导电膜的基板及其图案形成方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101080785A

申请号：

CN200580043593.9

公开（公告）日：

2007-11-28

申请日：

2005-12-16

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

赤尾安彦花田彰太郎馬場建郎

申请人：

旭硝子株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沙永生

优先权：

CN200580043593.9

主分类号：

H01B5/14

IPC分类号：

H01B5/14 H01B13/00 H01J9/02 H01J11/02