膜剥离装置和剥离膜的方法
公开
摘要
提供了膜剥离装置和剥离膜的方法。膜剥离装置包括腔室、下部台、第一夹持器至第四夹持器和上部台，下部台布置在腔室的第一壁上，第一夹持器至第四夹持器能够通过夹持与布置在下部台上的对象附接的膜的第一侧至第四侧来剥离膜的第一侧至第四侧，上部台布置在面对腔室的第一壁的、腔室的第二壁上并且能够在布置有对象的第一方向上伸长。
基本信息
专利标题 ：
膜剥离装置和剥离膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114446854A
申请号 ：
CN202111218997.4
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2021-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
崔明吉韩熙洙
申请人 ：
三星显示有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李子光
优先权 ：
CN202111218997.4
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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