一种功率器件的体内多段终端结构及制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种功率器件的体内多段终端结构及制备方法，体内多段终端结构包括：第一电极、衬底区、外延区、多段终端结构、氧化层和第二电极，第一电极、衬底区和外延区依次层叠；多段终端结构埋设于外延区中且位于终端区中，多段终端结构的一端与有源区相接触；多段终端结构包括第一子终端和若干第二子终端，第一子终端的一端与有源区相接触，若干第二子终端间隔分布在第一子终端的远离有源区的一侧；氧化层位于外延区上且位于多段终端结构的上方；第二电极位于外延区上且位于有源区中，第二电极与氧化层相邻。该终端结构不易受到表面钝化层内部电荷的影响，降低了器件界面电荷对多段终端结构耐压特性的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种功率器件的体内多段终端结构及制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114497179A
申请号 ：
CN202111541514.4
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
罗寅谭在超丁国华
申请人 ：
苏州锴威特半导体股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市杨舍镇沙洲湖科创园A1幢9层
代理机构 ：
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王萌
优先权 ：
CN202111541514.4
主分类号 ：
H01L29/06
IPC分类号 ：
H01L29/06 H01L21/04
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 29/06
申请日 : 20211216
申请日 : 20211216
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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