一种版图中孤立通孔的修正方法及系统
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种版图中孤立通孔的修正方法,包括:获取版图信息,确定目标通孔层;通过对所述目标通孔层的通孔进行区域扩展,得到所述通孔的通孔周边区,对每个通孔进行判断:通孔周边区内是否还存在其他通孔;若不存在,则判断所述通孔为孤立通孔;确定填充区域;在所述填充区域内填充辅助单元,修正所述孤立通孔。本发明的修正方法在版图设计阶段结合版图设计规则修正孤立通孔,可以在不影响电路原有连接关系的前提下,进行孤立通孔的实时检测和修改,有利于改进版图设计、优化半导体的制程工艺、提高生产效率和产品良率。本发明还提供的一种版图中孤立通孔的修正系统因能基于本发明的修正方法检测修改孤立通孔而具有相应优势。

基本信息
专利标题 :
一种版图中孤立通孔的修正方法及系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114384753A
申请号 :
CN202111564939.7
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2021-12-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王山川蓝帆潘伟伟
申请人 :
杭州广立微电子股份有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市西湖区西斗门路3号天堂软件园A幢15楼F1座
代理机构 :
江苏坤象律师事务所
代理人 :
赵新民
优先权 :
CN202111564939.7
主分类号 :
G03F1/00
IPC分类号 :
G03F1/00  G03F1/72  G03F1/84  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 1/00
申请日 : 20211220
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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