本发明实施例公开了一种用于LED生长的复合图形化衬底、外延片和制备方法。该复合图形化衬底包括蓝宝石衬底以及位于蓝宝石衬底的一侧表面的多个不对称凸起结构，不对称凸起结构的顶部中心点和底部中心点的连接线与蓝宝石衬底表面不垂直，不对称凸起结构包括蓝宝石层和异质层，蓝宝石层位于蓝宝石衬底的表面一侧，异质层位于蓝宝石层背离蓝宝石衬底的一侧。本实施例的技术方案，通过在蓝宝石衬底的c面上形成多个呈周期排布的不对称凸起结构，当光线在碰到不对称凸起结构的具有倾斜角度的侧边时，使得光线发生更多的反射，增强光的多次反射折射产生的随机化效应，增加出光几率，进而提高光提取效率，最终改善GaN基LED的能量利用率。