图形化衬底及包含该衬底的LED外延结构及芯片
授权
摘要
本实用新型涉及半导体技术领域,公开了一种图形化衬底及包含该衬底的LED外延结构及芯片,衬底包括:衬底本体(110);周期性的凸起图案结构(120),设置于该衬底本体(110)上;凸起图案结构(120)包括位于顶部的SiO2层或DBR层(122)、位于中部的SOG层(121)以及与衬底本体材质相同的底部图案层(123),且顶部的SiO2层或DBR层(122)的折射率大于中部的SOG层(121)的折射率。在本实用新型中的图形化衬底上生长外延结构时,能够有效阻止靠近衬底处的晶体缺陷向外延结构的量子阱部位蔓延,且该图形化衬底能够有效提高光反射率,两方面协同作用,能够有效提升最终LED芯片的光效。
基本信息
专利标题 :
图形化衬底及包含该衬底的LED外延结构及芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123359871.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
CN216528932U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
付星星芦玲
申请人 :
淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请人地址 :
江苏省淮安市清河新区景秀路6号
代理机构 :
淮安市科文知识产权事务所
代理人 :
廖娜
优先权 :
CN202123359871.7
主分类号 :
H01L33/10
IPC分类号 :
H01L33/10 H01L33/22
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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