本发明提供一种ITO导电膜玻璃板材溅射腔体结构，包括腔体，安装在腔体上部的驱动装置和磁性件，安装在所述腔体内的护板、基片以及靶材，安装在所述腔体侧壁的低温泵，所述驱动装置与磁性件固定连接，护板安装于所述基片以及靶材之间，所述腔体结构还包括驱动靶材左右移动的传动机构，所述传动机构包括齿条、与齿条啮合的齿轮，靶材与相对齿条的一侧固定连接。本发明通过安装传动机构，提高靶材的利用率，通过安装震动马达，进一步提高靶材利用率和ITO玻璃镀膜效率；通过在加热体上开设槽体，和在槽体上安装支撑装置，以及在加热体两侧安装固定装置，可以保证在完全固定基片的同时，还可以保护基片完整性，避免被固定设备刮花和破坏。