抽气环及半导体处理装置
实质审查的生效
摘要
本发明揭露一种抽气环，适用于半导体处理装置的腔体中，包含：一第一环形通道；及一第二环形通道，与所述第一环形通道迭层配置，且所述第一环形通道与所述第二环形通道经由多个孔相互连通。此外本发明还揭示了一种半导体处理装置。
基本信息
专利标题 ：
抽气环及半导体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114464519A
申请号 ：
CN202111618012.7
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2021-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
柳雪柴智侯彬赵婷婷
申请人 ：
拓荆科技股份有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市浑南区水家900号
代理机构 ：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄海霞
优先权 ：
CN202111618012.7
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C16/44 C23C14/56
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20211227
申请日 : 20211227
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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