本申请公开了一种超薄氮化镓肖特基二极管材料结构，包括衬底材料层、氮化铝薄膜层、N型氮化镓薄膜层、金属欧姆接触层和金属肖特基接触层；其中所述衬底材料层顶侧设置有氮化铝薄膜层，所述氮化铝薄膜层顶侧设置有N型氮化镓薄膜层，所述N型氮化镓薄膜层右端顶侧设置有金属欧姆接触层，与其对应的所述N型氮化镓薄膜层左端顶侧设置有金属肖特基接触层。该种超薄氮化镓肖特基二极管材料结构设计新颖、结构简单，解决现有氮化镓上材料器件可靠性问题，可以实现高质量高耐压肖特基二极管，可以有效避免传统器件材料的缓冲层及掺杂层，直接通过氮化薄膜铝层把器件功能层与衬底材料层结合在一起，实现低成本，低应力，高均匀性的器件材料。