一种用于单晶生长的热场调节装置和方法
实质审查的生效
摘要
本发明实施例公开了一种用于单晶生长的热场调节装置和方法,该热场调节装置包括:顶部固定安装有导流筒的隔热筒;第一控制单元和第二控制单元,其中,所述第一控制单元经配置为在拉晶过程中控制坩埚的高度位置不变,所述第二控制单元经配置为在拉晶过程中驱动所述隔热筒沿竖直方向做升降运动,使得所述导流筒的底部与熔融硅的液面的距离始终保持一致。同时通过独立移动的加热器配合所述隔热筒移动实现多样化的热场控制,为工艺参数的调节提供更多的方法和支持,使得提高提拉速度和降低氧浓度变得容易,使得晶棒冷却更快,生长更快。
基本信息
专利标题 :
一种用于单晶生长的热场调节装置和方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114277434A
申请号 :
CN202111632073.9
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
代理机构 :
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李斌栋
优先权 :
CN202111632073.9
主分类号 :
C30B15/20
IPC分类号 :
C30B15/20 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 15/20
申请日 : 20211229
申请日 : 20211229
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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