高效散热型半导体激光器及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种高效散热型半导体激光器及其制作方法，其中的半导体激光器包括衬底，在衬底上依次制备形成导电层、下波导结构层、发光层和上波导结构层，在上波导结构层上制备形成上电极，在导电层上制备形成下电极，在衬底内刻蚀形成供制冷液体流动的微通道，在衬底的底部键合有将制冷液体密封在微通道内的键合材料层。本发明将供制冷液体流动的微通道制备在衬底的内部，缩短制冷液体与发光层之间的距离，从而提高发光层的散热速度。
基本信息
专利标题 ：
高效散热型半导体激光器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114336266A
申请号 ：
CN202111658541.X
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张建伟周寅利张卓陈超宁永强王立军
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址 ：
吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
代理机构 ：
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高一明
优先权 ：
CN202111658541.X
主分类号 ：
H01S5/02345
IPC分类号 ：
H01S5/02345 H01S5/024 H01S5/026
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/02345
申请日 : 20211230
申请日 : 20211230
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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