一种真空喷涂装置的靶材进出机构
授权
摘要

本实用新型涉及一种真空喷涂装置的靶材进出机构,所述真空喷涂装置包括机架和固定安装在所述机架上的卧式真空筒体,其特征在于:所述靶材进出机构包括靶材转动行走组件和进出料组件,所述靶材转动行走组件部分安装在所述机架上和部分安装在所述卧式真空筒体中,用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在所述卧式真空筒体内行走和转动;所述进出料组件可移动布置在所述卧式真空筒体的进出料口一侧,用于与所述靶材转动行走机构配合实现自动将靶材移动到所述卧式真空筒体中和从所述卧式真空筒体移出。本实用新型能够实现在筒体外安装和拆卸靶材,大大降低了工人的劳动强度,提高了工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种真空喷涂装置的靶材进出机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202120367405.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-02-08
授权号 :
CN216173388U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
余成有
申请人 :
厦门佰顺兴自动化科技有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市同安区洪塘镇苏厝路73号1#厂房第三层之一
代理机构 :
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司
代理人 :
蔡金塔
优先权 :
CN202120367405.4
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02  B05B16/20  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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