硫化锌真空气相沉积炉
授权
摘要
本实用新型提供了硫化锌真空气相沉积炉。涉及一种气相沉积炉。提供了一种清洁速度快、效率高的硫化锌真空气相沉积炉。包括炉体，所述炉体内设有清扫装置，所述清扫装置铰接在炉体的侧壁上且沿所述侧壁翻转，所述清扫装置从气相沉积炉的进口伸入所述气相沉积炉内。反复清洁时则控制高压空气的气压，使得伸缩臂沿高度方向反复伸缩，实现炉壁的清洁。全程仅需要单人操作转动清扫装置，对炉体内进行清洁，清洁效率更高。
基本信息
专利标题 ：
硫化锌真空气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202121138132.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-05-25
授权号 ：
CN216404513U
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
黄志国周正卿黄硕
申请人 ：
扬州市硕成伟业电热设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市江都区丁伙镇工业园
代理机构 ：
北京精金石知识产权代理有限公司
代理人 ：
王磊
优先权 ：
CN202121138132.2
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/56 C23C16/22 C23C16/54 F27D25/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-04-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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