本实用新型公开了一种方便收集反应物的芯片加工用等离子刻蚀机，包括箱体和第一液压缸，所述箱体的内部设置有底座，且底座内设置有真空泵，同时真空泵与第一进气管道连接，所述底座顶部设置有加工槽，且加工槽内设置有加工台，所述第一液压缸的一端与箱体的内顶部连接，且第一液压缸的另一端与存气箱的顶部连接，所述存气箱的底部设置有排气孔和射频电源，且存气箱顶部连接有第二进气管道，所述存气箱的外侧连接有抽尘箱。该方便收集反应物的芯片加工用等离子刻蚀机，设置有第二液压缸和抽尘装置，第二液压缸可推动刮板和清洁刷将依附在加工槽内壁上的反应物刮下来，同时抽尘装置可将刮落的反应物抽取至存储箱内，从而便于丰富装置的功能性。