本实用新型公开了一种MEMS敏感芯片的湿法腐蚀装置，涉及到芯片生产领域，包括装置主体，所述装置主体的开口两端内壁上均固定连接有同步气缸，所述同步气缸的输出端连接有气缸推杆，所述同步气缸的下方设置有清理块。本实用新型通过在装置主体内设置有放置盘，放置盘通过连接柱与电机的输出轴连接，使得电机能够带动放置盘转动，带动放置盘上的芯片转动，提高了芯片腐蚀的效率，同时在装置主体上设置有同步气缸，同步气缸上的气缸推杆通过连接板带动放置盘向上移动，能够将放置盘移出腐蚀液，同时再通过电机带动放置盘转动，通过离心力将芯片上附着的腐蚀液甩出，达到了清理的效率，同时甩出的腐蚀液落到装置内，不会造成浪费。