机械手装置和清洗设备
授权
摘要
本申请提出了一种机械手装置和清洗设备，属于半导体清洗设备技术领域。机械手装置包括：机械手；拖链，设于机械手的一侧；以及线槽组件，设于拖链的底部，线槽组件包括：槽体；以及多个线槽盖板，线槽盖板与槽体可装卸地连接，沿槽体长度方向，多个线槽盖板依次设置，与槽体合围出线缆通道。通过本申请的技术方案，保护了机械手走线不被损坏，并可任意拆卸线槽盖板维护机械手及线路，提高了维修的便利性。
基本信息
专利标题 ：
机械手装置和清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122610501.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-26
授权号 ：
CN216213284U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
左国军龚泽熙李雄朋庄海云
申请人 ：
创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
北京友联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
尚志峰
优先权 ：
CN202122610501.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/687 B08B13/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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