本申请提供了一种半导体加工用散热装置，包括支撑座，支撑座上端固定安装有散热框，散热框左侧设置有侧连接块，侧连接块左侧设置有锥形结构块，侧连接块左侧设置有三组支撑架，支撑架中部固定安装有机泵，散热框内左右两侧设置有滑动支架，滑动支架上端设置有螺纹孔，支撑板上方等距离设置有若干组安装模块。本实用新型通过机泵将散热框内部对气体抽出，通过加速空气流动来实现对于内部的半导体零件的散热，所述滤框内部设置有PP棉和不锈钢滤网来进行组合过滤，通过两级的过滤和净化来保证进入空气的洁净度，所述拉杆通过把手来对支撑板整体进行拆卸和安装后的移动，提升使用的便捷性。