一种高压加热炉和工艺设备
授权
摘要

本实用新型提供一种高压加热炉和工艺设备,高压加热炉包括:管式的金属腔体,金属腔体中具有空腔,空腔的开口朝向所述金属腔体的底部;加热罩,所述加热罩围绕所述金属腔体的外腔壁设置;门组件,所述门组件包括:位于所述金属腔体底部的支架底托;位于所述支架底托上且与所述支架底托固定连接的晶舟,所述晶舟适于伸入所述空腔中。腔体采用金属材质,高压加热炉可用于真空至高压工艺条件,高压加热炉的适用范围广;高压加热炉的开口朝向金属腔体的底部,且加热罩围绕所述金属腔体的外腔壁设置,不占用金属腔体的空间也不需要金属腔体作为支撑,高压加热炉立式放置,增大了空间利用率,在相同的占地面积下,高压加热炉的产能得到了提升。

基本信息
专利标题 :
一种高压加热炉和工艺设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122983652.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
CN216694457U
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
黄占超
申请人 :
安泊智汇半导体设备(上海)有限责任公司
申请人地址 :
上海市闵行区新骏环路189号1幢4层C402室
代理机构 :
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄海霞
优先权 :
CN202122983652.X
主分类号 :
F27B17/00
IPC分类号 :
F27B17/00  F27D11/02  F27D9/00  F27D7/06  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2022-06-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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