一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台
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摘要

本实用新型涉及碳化硅晶体加工检测装置领域,具体涉及一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台,包括定位底座、旋转承载盘、升降架和显微透镜部,所述定位底座包括基板、竖直滑轨架、前后限位滑台和左右限位滑台,所述基板的上端面从下到上依次层叠设置有前后限位滑台和左右限位滑台,所述旋转承载盘固定设置于所述左右限位滑台的顶部,所述基板为矩形板状结构且一端固定设置有竖直滑轨架,所述升降架的一端与所述竖直滑轨架限位连接且另一端与所述显微透镜部连接,本装置操作简单、检测方便、效率高、检测均布及重复性高,极大提高了碳化硅单晶检测用显微镜设备的利用率,优化资源配置,提高了显微镜使用效果及使用效益。

基本信息
专利标题 :
一种碳化硅单晶检测用显微镜的检测平台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122988066.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-01
授权号 :
CN216309812U
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
付文川赵然王锡铭李旭明勾喜满王飞
申请人 :
山东国宏中能科技发展有限公司
申请人地址 :
山东省东营市河口区海盛路898号
代理机构 :
东营双桥专利代理有限责任公司
代理人 :
宋风娥
优先权 :
CN202122988066.4
主分类号 :
G01N21/84
IPC分类号 :
G01N21/84  G01N21/01  G02B21/26  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
法律状态
2022-04-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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