一种用于显微镜下检查的光刻版夹具
授权
摘要
本实用新型提供一种用于显微镜下检查的光刻版夹具。所述用于显微镜下检查的光刻版夹具包括:输送箱,所述输送箱上设置有固定机构和两个调整机构;所述固定机构包括有电机一、螺纹长杆、移动块、圆柱块一、固定腔、安装槽、电机二、转动杆、锥形齿轮一、四个螺纹短杆一、四个锥形齿轮二、四个夹板、两个支撑板和长板,所述电机一固定安装在输送箱的一侧外壁上,本实用新型解决的技术问题是提供一种通过在码盘底部进行吸附固定的方式来避免与切割刀片发生碰撞,同时能够使得光刻设备和切割设备能够进行位置调整从而保证码盘精度符合标准的用于显微镜下检查的光刻版夹具。
基本信息
专利标题 :
一种用于显微镜下检查的光刻版夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123020451.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-03
授权号 :
CN216411861U
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
陆峰
申请人 :
长沙韶普光电科技有限公司
申请人地址 :
湖南省长沙市长沙县铭诚绿谷智慧产业园19栋101
代理机构 :
湖南中泽专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
龙予倩
优先权 :
CN202123020451.6
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20 B26D7/02 B26D7/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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