本实用新型公开了一种光刻版夹具，包括一底座，所述底座上固设有一安装架，所述安装架边缘设有内径小于光刻版外径的夹持部，所述夹持部内侧设有放置光刻版的凸垫，其中，所述夹持部由韧性材料制成；所述底座中心还设有一可与马达/电机配合的转动装置。所述转动装置为设置于底座中心的可与马达/电机轴干配合转动的通孔，或所述转动装置为设置于底座中心的转动轴，以及可与所述转动轴配合的传动带或传动齿轮。本实用新型对光刻版的表面冲洗更充分，清洗效果好，且光刻版与夹具通过过盈配合固定在一起，夹具与光刻版的接触面积很小，可以很好地保护光刻版特别是版图面不受损坏。