减少蒸镀过程中热量损耗的坩埚
授权
摘要
本实用新型涉及蒸镀镀膜技术领域，公开了一种减少蒸镀过程中热量损耗的坩埚，包括：坩埚本体（1），用于盛放待蒸镀的金属；隔热凸块（2），圆周分布设置在所述坩埚本体（1）底部；定位凸块（3），设置在各所述隔热凸块（2）的外壁，或者，设置在所述坩埚本体（1）底部外壁。与现有技术相比，本实用新型通过隔热凸块和定位凸块的设置，尽量减小在蒸镀过程中坩埚与其周围和底部的水冷面的接触面，尽量减少坩埚受到其周围和底部水冷面的影响，稳定蒸发速率，提高能源使用效率。
基本信息
专利标题 ：
减少蒸镀过程中热量损耗的坩埚
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123186150.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216445453U
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
李飞伍华瑞张向飞
申请人 ：
淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市清河新区景秀路6号
代理机构 ：
淮安市科文知识产权事务所
代理人 ：
廖娜
优先权 ：
CN202123186150.0
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2022-05-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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