粉尘防倒流机构及电池片真空镀膜设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种粉尘防倒流机构及电池片真空镀膜设备，包括：驱动泵；排气管道，所述排气管道的一端与所述驱动泵的进气口连通；炉体，所述排气管道的另一端与所述炉体的排气口连通；以及防倒流组件，所述防倒流组件设置于所述排气管道内，所述防倒流组件被配置为仅允许气体能够通过所述排气管道从所述炉体向所述驱动泵方向流动。当驱动泵出现卡死或停转等问题，驱动泵的抽吸力消失，防倒流组件将排气管道关闭，排气管道的气体便无法在压差作用下向炉体方向倒流，排气管道内残存的粉尘也就不会倒流入炉体内对电池片造成污染，保护了电池片安全，保障了电池片的加工质量。
基本信息
专利标题 ：
粉尘防倒流机构及电池片真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123186160.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
CN216738519U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
谈仕祥
申请人 ：
通威太阳能(眉山)有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
吴辉燃
优先权 ：
CN202123186160.4
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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