能提高热量利用率的蒸镀装置
授权
摘要
本实用新型公开一种能提高热量利用率的蒸镀装置，包括坩埚、盖体和反射器，坩埚内设置有容纳腔，坩埚上凸设有喷嘴，喷嘴与容纳腔相连通；盖体罩设在坩埚的上方且喷嘴能穿设出盖体，盖体的底面设置有反射层，用于向坩埚反射热量；反射器围设在坩埚的侧壁外，用于向坩埚反射热量。该能提高热量利用率的蒸镀装置结构简单，能充分利用热辐射，提高热量的利用率。
基本信息
专利标题 ：
能提高热量利用率的蒸镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123240781.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN216514090U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
曹圭满
申请人 ：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
杨雪
优先权 ：
CN202123240781.6
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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