一种氧化物薄膜晶体管
授权
摘要
本实用新型涉及一种氧化物薄膜晶体管，包括设置在基板上的栅极和绝缘层，以及有源层、源极和漏极，所述氧化物薄膜晶体管还包括保护层和导体层，保护层覆盖在有源层和绝缘层上，保护层由光敏树脂涂层图形化而成并具有连通有源层的源极孔和漏极孔；导体层覆盖在保护层上，导体层填充在源极孔、漏极孔中或延伸到源极孔、漏极孔底部，源极孔中的导体层与有源层接触形成源极的源极基部，漏极孔中的导体层与有源层接触形成漏极的漏极基部，源极基部、漏极基部与有源层形成电接触，源极的外引部、漏极的外引部均由导体层图形化而成。这种氧化物薄膜晶体管不仅导电一致性好，并确保有源层与源漏极的电接触稳定，而且可保证沟道部位的半导体开关特性。
基本信息
专利标题 ：
一种氧化物薄膜晶体管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123342429.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216435911U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
沈奕陈玉云吕岳敏余荣杨秋强陈远明
申请人 ：
汕头超声显示器技术有限公司
申请人地址 ：
广东省汕头市龙湖区龙江路12号（超声电子工业园）
代理机构 ：
汕头市潮睿专利事务有限公司
代理人 ：
陈烨彬
优先权 ：
CN202123342429.3
主分类号 ：
H01L29/786
IPC分类号 ：
H01L29/786 H01L29/417
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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