一种光刻区的光罩盒信息显示装置
授权
摘要
本实用新型属于光刻机领域，公开了光刻区的光罩盒信息显示装置，包括光罩盒、读写台、无源墨水屏、墨水屏支架、智能标签管理模块，墨水屏支架两端设置有挂耳，中间设置盖板，盖板通过螺丝固定到墨水屏支架上，挂耳与墨水屏支架一体或通过螺丝固定，墨水屏支架通过挂耳卡槽卡扣到光罩盒的槽位上；无源墨水屏通过螺丝固定到墨水屏支架的盖板上；智能标签管理模块具有RFID读取单元，读取光罩盒的RFID标签信息后发送给MES系统，MES系统将晶圆的批次信息发送到智能标签管理模块，智能标签管理模块将晶圆的批次信息写入无源墨水屏，无源墨水屏显示晶圆的批次信息。本实用新型可实时显示光罩盒的批次信息，屏幕常亮。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻区的光罩盒信息显示装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123431962.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
CN216596793U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
周敏丁珉
申请人 ：
无锡芯享信息科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园G10-1006
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙建
优先权 ：
CN202123431962.7
主分类号 ：
G09F9/37
IPC分类号 ：
G09F9/37 G09G3/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G09
教育；密码术；显示；广告；印鉴
G09F
显示；广告；标记；标签或铭牌；印鉴
G09F9/00
采用选择或组合单个部件在支架上建立信息的可变信息的指示装置（其中可变信息永久性的连接在可动支架上的入G09F11/00
G09F9/30
由组合单个部件所形成的符号所需的字符或字符组
G09F9/37
为可移动的元件
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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