适用于柔性器件的ITO薄膜及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开的适用于柔性器件使用的双面ITO薄膜，步骤1，以纯乙醇、三氯化铟、四氯化锡、乙酸酐为原料配制锡掺杂氧化铟溶胶；步骤2,将聚酰亚胺基板作为镀膜基板采用浸渍提拉法制备ITO镀膜基板；步骤3，将步骤2得到的ITO镀膜基板置于管式炉中于200～350℃氧气气氛中进行热处理，气压0.05～0.5MPa，流量4～20mL/min，保温时间2～5h；步骤4，制备ITO纳米晶薄膜。能够解决现有ITO薄膜不能在低温下进行双面同时镀制的技术难题，而且该方法能够大面积制膜，适合于产业化量产。本发明还公开一种适用于柔性器件使用的双面ITO薄膜。
基本信息
专利标题 ：
适用于柔性器件的ITO薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114534990A
申请号 ：
CN202210025851.6
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
任洋刘萍张橙刘荣欣赵高扬
申请人 ：
西安理工大学
申请人地址 ：
陕西省西安市碑林区金花南路5号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
徐瑶
优先权 ：
CN202210025851.6
主分类号 ：
B05C3/10
IPC分类号 ：
B05C3/10 B05C9/12 B05C9/14 B29D7/01
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C3/00
使工件与大量液体或其他流体在其内部相接触的容器
B05C3/02
把工件浸入液体或其他流体中
B05C3/09
处理单独的物品
B05C3/10
移动物品通过液体或其他流体
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05C 3/10
申请日 : 20220111
申请日 : 20220111
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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