一种机器人中控操作系统承载的硅晶拉制装置
实质审查的生效
摘要

本发明涉及硅晶制造技术领域,且公开了一种机器人中控操作系统承载的硅晶拉制装置,包括壳体、固定轴、转盘、转轴、伸缩杆、挡板,所述壳体侧壁的内部开设有通槽,所述固定轴顶部的侧面固定连接有固定板,所述转盘的内部开设有安装腔。本发明通过设计活动腔、凸轮、压板、通槽、转盘、安装腔、输气槽和挡气板,通过转轴的转动带动凸轮转动,进而促使压板将活动腔内部的气体挤压进入通槽内部并最终经输气槽传输至安装腔内,促使安装腔内部的气压增大从而顶动挡气板移动并带动转盘转动,利用转盘带动石英坩埚转动,从而促使石英坩埚内部的硅晶溶液更加的均匀,使得拉制硅晶棒的直径偏差减小,避免硅晶棒的直径偏差较大导致硅晶棒的质量不佳。

基本信息
专利标题 :
一种机器人中控操作系统承载的硅晶拉制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114381803A
申请号 :
CN202210032471.5
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2022-01-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李梦杨陶发展付主木温歌
申请人 :
洛阳师范学院
申请人地址 :
河南省洛阳市伊滨区吉庆路6号
代理机构 :
合肥左心专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王凯
优先权 :
CN202210032471.5
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B15/22  C30B15/30  C30B15/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/06
申请日 : 20220112
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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