一种电沉积硅薄膜的方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种电沉积硅薄膜的方法，包括以下步骤：a)将离子液体干燥除水，b)将所述无水离子液体在所述真空手套箱中与硅盐搅拌混合，得混合溶液；c)处理电极，d)将所述混合溶液通入到电池槽中电沉积，电沉积完成后将阴极板取出清洗得到硅薄膜。本发明采用上述结构的一种电沉积硅薄膜的方法，不仅能够解决四氯化硅污染环境、增加企业生产成本的问题，而且还能够解决传统方法电沉积硅薄膜所需温度高、能耗高、产品质量差的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种电沉积硅薄膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318456A
申请号 ：
CN202210050151.2
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-01-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
董飘平蒋航宇王璐赵尹刘宇豪
申请人 ：
桐乡市思远环保科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市桐乡市高桥街道高桥大道1156号3幢1706室
代理机构 ：
北京圣州专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李春
优先权 ：
CN202210050151.2
主分类号 ：
C25D9/08
IPC分类号 ：
C25D9/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D9/00
非金属电镀层
C25D9/04
无机材料的
C25D9/08
用阴极工艺方法
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 9/08
申请日 : 20220117
申请日 : 20220117
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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