基于二维材料的多功能光敏突触器件及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种基于二维材料的多功能光敏突触器件及其制备方法,器件包括:衬底,设置于衬底上方的栅极、源极、漏极及堆叠结构,所述堆叠结构包括第一二维材料层、第二二维材料层及第三二维材料层,栅极设置在衬底上方,栅极上方依次覆盖第一二维材料层、第二二维材料层及第三二维材料层,第三二维材料层上方分别覆盖源极及漏极且源极与漏极之间形成沟道。第二二维材料层中包括缺陷态的六方氮化硼,第一二维材料层作为吸光层,第二二维材料层作为隔离层,第三二维材料层作为读出层。本发明器件结构简单,工作原理简洁易懂,制备工艺简单,易于上手;基于纯二维薄膜材料垂直堆叠,尺寸小,有利于高密度高集成度的需要。
基本信息
专利标题 :
基于二维材料的多功能光敏突触器件及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114497247A
申请号 :
CN202210072308.1
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
徐杨周嘉超李涵茜徐心艺田丰陈丽陈安哲俞滨
申请人 :
浙江大学杭州国际科创中心
申请人地址 :
浙江省杭州市萧山区市心北路99号5楼
代理机构 :
杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
徐晶晶
优先权 :
CN202210072308.1
主分类号 :
H01L31/0328
IPC分类号 :
H01L31/0328 H01L31/0392 H01L31/112 H01L31/18 G06N3/06
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0328
申请日 : 20220121
申请日 : 20220121
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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