一种用于集成电路生产用的蚀刻设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了涉及蚀刻装置技术领域，具体为一种用于集成电路生产用的蚀刻设备，包括支撑台，支撑台的下端焊接有支撑架，支撑台的上端焊接有防护外壳，防护外壳的侧面安装有箱门，支撑台的上端设置有转盘，转盘的上端成圆周阵列开设有五个矩形槽，本发明的有益效果是：通过设置的间歇转动机构带动转盘间歇性转动，从而使集成电路板成圆周间歇性转动，使集成电路板依次从蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方转过，且集成电路板在蚀刻装置主体、清洗机构和吹干机构的下方时会停止一端时间，通过设置的蚀刻装置主体对集成电路板进行蚀刻机构，通过清洗机构对集成电路板上的蚀刻液进行冲洗，通过吹干机构对集成电路板上的水渍进行吹干。
基本信息
专利标题 ：
一种用于集成电路生产用的蚀刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114554713A
申请号 ：
CN202210083045.4
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄磊
申请人 ：
富璟信息数字科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南九道55号微软科通大厦19C
代理机构 ：
重庆上义众和专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭维
优先权 ：
CN202210083045.4
主分类号 ：
H05K3/22
IPC分类号 ：
H05K3/22 H05K3/26
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05K 3/22
申请日 : 20220125
申请日 : 20220125
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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