一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制备方法，合金靶材按原子百分比由以下成分组成：镁锌30‑60％，铝10‑40％、镍10‑40％、钒10‑40％，其中，镁锌中镁和锌的原子百分比为1:1；制备方法包括金属粉末的制备、预压处理和热压处理，得到镁锌铝镍钒合金靶材；其中，金属粉末的制备中，将镁锌源、铝源、镍源和钒源进行混料，得到金属粉末；采用镁锌合金代替常规镁源和锌源，确保生产安全。本发明制备得到的镁锌铝镍钒高熵合金靶材包括Al相、MgZn相、Ni相和V相，具有致密度高、合金化程度适当，无气孔和偏析，无裂纹，加工性能良好，组织均匀等优点，相对密度超过99％。
基本信息
专利标题 ：
一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114481053A
申请号 ：
CN202210090033.4
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张凤戈张学华魏铁峰岳万祥张欠男王建峰
申请人 ：
北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室
代理机构 ：
北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
荣红颖
优先权 ：
CN202210090033.4
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C22C30/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20220125
申请日 : 20220125
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
