一种相移量实时在线测量装置及方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种相移量实时在线测量装置及方法,该装置包括Wollaston棱镜、可移动透镜、偏振片和图像传感器。该发明根据Wollaston棱镜的偏振分光特性,将从偏振干涉测量光场分离出的共路传输正交偏振光变为偏振方位相互垂直、传输方向有一定夹角的两束光波,经可移动透镜合束后,通过偏振片将二者投影到相同偏振态,最后由相移量测量数字相机采集得到空间载频干涉条纹。利用相移量测量相机与干涉测量系统自身携带的相机同步地采集相移干涉条纹图,即可利用相移量测量数字相机采集得到的空间载频干涉图高精度地提取出与测量光场同步的相移量。从而消除相移与标称值不符而产生的相位测量误差,大幅度提高相移干涉测量的精度。

基本信息
专利标题 :
一种相移量实时在线测量装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114459619A
申请号 :
CN202210102116.0
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吕晓旭周成鑫刘胜德汪卉
申请人 :
华南师范大学
申请人地址 :
广东省广州市中山大道西55号
代理机构 :
广州容大知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
潘素云
优先权 :
CN202210102116.0
主分类号 :
G01J9/02
IPC分类号 :
G01J9/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J9/00
测量光学相位差;测定相干性的程度;测量光学波长
G01J9/02
采用干涉法
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01J 9/02
申请日 : 20220127
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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