芯片的测试方法、装置、设备和存储介质
实质审查的生效
摘要
本申请公开了一种芯片的测试方法、装置、设备和存储介质，该方法包括：载入目标晶圆上的芯片图形；基于载入的芯片图形，依次进行N个项目的图形测试，得到N个测试项目中每个测试项目的测试结果，N为自然数，N≥2；对每个测试项目的测试结果进行处理，得到目标晶圆的测试结果。本申请通过一次性载入目标晶圆上的芯片图形后，基于载入的芯片图形，依次进行多个项目的图形测试，得到多个测试项目中每个测试项目的测试结果，对每个测试项目的测试结果进行处理，得到目标晶圆的测试结果，由于不需要在每个测试项目的图形测试前进行芯片图形载入，因此能够节省测试时间，提高了生产效率。
基本信息
专利标题 ：
芯片的测试方法、装置、设备和存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545203A
申请号 ：
CN202210149662.X
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱渊源
申请人 ：
上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路1399号
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
戴广志
优先权 ：
CN202210149662.X
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20220218
申请日 : 20220218
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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