本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种对接装置及半导体设备，包括主轴、减速杆和第一缓冲轴承，在所述主轴上形成有第一组件安装部和减速杆安装槽，所述减速杆安装槽在所述主轴的径向上贯穿所述主轴，所述减速杆的一端为位于所述减速杆安装槽内的连接端，所述连接端与所述减速杆安装槽的内壁枢接以使所述减速杆能够在所述主轴的径向上枢转，所述减速杆的另一端为导向端，所述第一缓冲轴承安装于所述导向端，所述第一缓冲轴承包括第一轴承部和包覆于所述第一轴承部之外的第一缓冲层。本申请的目的在于针对在第一组件与第二组件对接时，常因第一组件对第二组件产生较大冲击导致第二组件内器件损坏，提供一种对接装置及半导体设备。